· 產品模塊化設計，部署靈活，升級方便。
· 對標國際友商品牌，顆?？刂坪?，清洗能力強。
· 成本更低的環境友好型設備。

· 1BRM+1SPIN、1BRM+2SPIN等多種選擇
· 高端毛刷工藝
· 獨立藥液控制，無交叉污染。
· 雙面清洗
· 多種藥液供給模塊

· 顆?？刂疲?9nm<30ea。
· 金屬污染：<5E8 atem/cm2

· 產品模塊化設計，部署靈活，升級方便。
· 對標國際友商品牌，顆?？刂坪茫逑茨芰姟?br>· 客戶定制化程度高。

· 4/6/8SPIN等多種選擇
· 高濃度O3W清洗
· 高端毛刷工藝
· Spary二流體清洗
· 多種藥液供給模塊
· 獨立藥液控制，無交叉污染。

· 模塊化設計，靈活應對多種布局。

· 4SMIF+Flip、8SMIF、10SMIF
· 300+WPH with OCR reading
· 核心部件MCBF 1500萬次
· ISO class 1級潔凈度

· 自主研發，具有濃度、溫度反饋控制，精準調控。
· 靈活實現多藥液濃度調合。

· 采用高端PFA管路。
· 滿足DHF、BHF、SC1、SC2、SPM、TMAH等藥液。
· 根據工藝需求定制。
· 采用高規部件，滿足高端工藝需求。